高精度大型程影像測(cè)量儀
產(chǎn)品描述:光罩技術(shù)的GM超高精度影像式測(cè)量儀系列,為湖北高天shou創(chuàng)之zhuang利光罩技術(shù)制造而成,此技術(shù)已獲、中國臺(tái)灣及大陸等地區(qū)的發(fā)明和創(chuàng)新zhuan利。此類機(jī)種的精度幾乎不受機(jī)械誤差及阿貝誤差影響,尤其是X、Y軸行程在600mm × 500mm以上的機(jī)型,無論是XY軸向精度,還是XY平面坐標(biāo)精度皆能在5μ內(nèi),其度比所有百萬價(jià)值內(nèi)的、或其它國外的機(jī)器更。
高精度大型程影像測(cè)量儀
產(chǎn)品規(guī)格及參數(shù):
儀器型號(hào) | GT-CNC-1012D | GT-CNC-1016D | GT-CNC-1218D | GT-CNC-1525D | |
工作臺(tái) | XY軸行程 | 1000/1200 | 1000/1600 | 1200/1800 | 1500/2500 |
Z軸行程 | 有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm,工作距離95mm | ||||
金屬臺(tái)面尺寸 | 1200/1400 | 1200/1800 | 1400/2000 | 1700/2700 | |
玻璃臺(tái)面尺寸 | 1100*1300 | 1100*1700 | 1300*1900 | 1600*2600 | |
傳動(dòng)型式 | X/Y/Z軸精密線性導(dǎo)軌/研磨級(jí)滾珠螺桿 | ||||
測(cè)量伺服驅(qū)動(dòng) | 光學(xué)尺分辨率:X/Y/Z軸0.0005MM(0.5UM) | ||||
測(cè)量精度:≤3UM+L/200 重復(fù)精度:≤3UM+L/200 | |||||
X/Y/Z三軸中國臺(tái)灣高性能伺服電機(jī),雙重閉環(huán)控制系統(tǒng) | |||||
影像系統(tǒng) |
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鏡頭:NAV高清變倍鏡頭/連續(xù)放大倍率0.7-4.5X | |||||
光源系統(tǒng) | 表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調(diào) | ||||
儀器外形尺寸(L*W*H) | 1750MM*2100MM*1650MM | 1750MM*2650MM*1650MM | 2000MM*2850MM*1650MM | 2400MM*3500MM*1650MM | |
儀器重量(KG) | 2800 | 3600 | 4500 | 5500 |